Porter質(zhì)量流量控制器發(fā)展需“穩(wěn)中求勝”
Porter質(zhì)量流量控制器被設(shè)計(jì)用于要求對(duì)小流量液體進(jìn)行快速、控制的領(lǐng)域。Porter質(zhì)量流量控制器簡單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。Porter質(zhì)量流量控制器*的熱式測(cè)量系統(tǒng)提供的測(cè)量，同時(shí)液體溫度上升小于5度。的控制回路和一個(gè)壓電激勵(lì)隔膜控制閥可提供對(duì)小流量液體 進(jìn)行 快速、穩(wěn)定的控制。P2000i系列同時(shí)也包括有一個(gè)液體質(zhì)量流量計(jì)，用于那些不需要進(jìn)行流量控制的場(chǎng)合。
Porter質(zhì)量流量控制器被設(shè)計(jì)用于要求對(duì)液體快速、控制的半導(dǎo)體制造工藝。數(shù)字控制回路和一個(gè)壓電激勵(lì)隔膜控制閥可讓響應(yīng)時(shí)間小于1秒。潔凈空間內(nèi)的裝配工藝和全金屬密封結(jié)構(gòu)確保（高純度和泄漏完整性）。*的層流旁路和傳感器部件提供的測(cè)量，同時(shí)液體溫度僅上升5度，此外，Porter質(zhì)量流量控制器的簡單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。
Porter質(zhì)量流量控制器設(shè)計(jì)特點(diǎn)
· 熱式原理
· 一體化設(shè)計(jì)
· 滿量程從 5SCCM 到 1000SLPM
· 響應(yīng)時(shí)間不超過 2 秒鐘
· 操作壓力可達(dá) 20MPa
· 對(duì)安裝位置不敏感
· 316SS 材質(zhì)，允許測(cè)量腐蝕性氣體
· 無直管段安裝要求
· 單電源供電
Porter質(zhì)量流量控制器參數(shù)：
? 流量范圍從0-5sccm到0-1000slpm(氮?dú)?
? 設(shè)定點(diǎn)的響應(yīng)時(shí)間不超過1sec
? 控制精度可達(dá)實(shí)際流量的1%
?I/O(輸入&輸出)可選模擬和數(shù)字信號(hào)
? 可實(shí)現(xiàn)本地/遠(yuǎn)程設(shè)置/顯示
Porter質(zhì)量流量控制器是用來對(duì)各種氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行進(jìn)行精密測(cè)量與控制的一種儀器。Porter質(zhì)量流量控制器通常由流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制電路和分流器控制通道等部件組成。Porter質(zhì)量流量控制器的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。Porter質(zhì)量流量控制器用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。Porter質(zhì)量流量控制器并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。Porter質(zhì)量流量控制器特點(diǎn):精度高，重復(fù)性好。
