流量控制器是準確測量氣體流量的儀器。由于溫度或壓力的波動，測量值不會錯位。不需要溫度和壓力補償。即使系統壓力波動或環境溫度發生變化，也可以根據需要進行流量設定，自動將流量恒定在設定值。它不會導致它偏離設定值。
流量控制器可以準確控制給定量的氣體，用于不同氣體的比例控制，用于許多過程的流量控制。直接測量氣體的質量流量，輸出質量流量信號，無需其他設備。
質量流量控制器用于對于氣體或者液體的質量流量進行測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。
質量流量計是一種準確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。熱式流量開關熱導式流量開關。質量流量控制器（MFC）中設置有一個氣體流量調節閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調節到測量的滿量程，在工作的過程當中，控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降，即壓差。
檢查出現偏差方法：
1、零點是否有漂移，首先需接通電源，質量流量控制器信號為0的情況下，則需要用萬網表測一下輸出信號值以及看一下電源控制器的反饋信號；
2、氣體是否純凈，如果盤路有污染，那么流量就肯定會收到影響，這個時候可以用高純N2多次清掃，如果還是不能解決則需要找專業維修點接受A／S；
3、質量流量控制器前端壓力是否發到標定壓力，如果質量流量控制器的壓力不夠就會出現達不到標定量程。
